WAU羅茨泵核心型號與技術(shù)參數(shù)?

?關(guān)鍵設(shè)計?：全系列標(biāo)配?旁通閥系統(tǒng)?，支持大氣壓啟動，抽空時間縮短30%

WAU羅茨泵技術(shù)優(yōu)勢?

1. ?高效節(jié)能?

• 風(fēng)冷設(shè)計無需外接冷卻水，能耗比傳統(tǒng)水冷泵低40%

• 變頻調(diào)速兼容性（如WAU 251提速至4200rpm），工況適配性提升50%
  

2. ?無油密封?

• 罐裝電機(jī)（Canned Motor）隔絕潤滑油污染，滿足半導(dǎo)體、光伏鍍膜等高純度工藝要求
  

• 氟橡膠密封件耐受含氧/腐蝕性氣體（如CVD工藝中的蝕刻氣體）
  

3. ?模塊化維護(hù)?

   齒輪箱與泵腔隔離設(shè)計，潤滑油不受介質(zhì)污染，更換周期延長至4000小時
   

   立式/臥式快速切換，節(jié)省設(shè)備布局空間

   維護(hù)與故障預(yù)防?

• ?強(qiáng)制保養(yǎng)項?

• 每運行2000小時更換軸承及機(jī)械密封，使用原廠LVO 100/210潤滑油
  

• 清洗泵腔需用5%酸堿液，禁用顆粒研磨劑

• ?運行禁止?

• 連續(xù)壓差＞100mbar會導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱變形（需聯(lián)鎖壓力傳感器）

• 旁通閥開啟時間≤3分鐘，避免電機(jī)過載
  

• ?升級選項?

• 加裝磁懸浮軸承：機(jī)械損耗降40%，免維護(hù)周期突破8000小時