RTP-200 8寸快速退火爐/德國UniTemp
- 公司名稱 上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 RTP-200
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/6/23 14:44:01
- 訪問次數(shù) 138
聯(lián)系方式:王先生15021495336 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
RTP-200快速退火爐為德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn),分為RTP-100,RTP-150,RSO-200,VPO-300共四個型號,分別對應(yīng)4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火爐產(chǎn)品。
8寸快速退火爐/德國UniTemp技術(shù)規(guī)格:
- 溫度:1200攝氏度;
- 升溫速率:150攝氏度/秒;
- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);
- 溫控均勻性:≤1.5%設(shè)定溫度;
- 加熱方式:紅外鹵素?zé)?,頂部及底部加熱?/p>
- 燈管數(shù)量及功率:18支/20千瓦(RTP-100),24支/21千瓦(RTP-150);
- 腔體冷卻:水冷方式;
- 襯底冷卻:氮?dú)獯祾撸?/p>
- 工藝氣路:MFC控制,最多4路 (氮?dú)狻鍤?、氧氣、氫氮混合氣?;
- 主機(jī)尺寸及重量:505mmx504mmx420mm (WxDxH),約55Kg。
8寸快速退火爐/德國UniTemp特點(diǎn):
- 真空快速退火爐,有低真空型號(10-3hPa)、高真空型號(10-6hPa);
- 可在不同氣氛環(huán)境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;
- 控制方式:SIMATIC,SPS人機(jī)界面控制,7英寸觸摸屏;
- 可存儲50個程序,每個程序最多分為50段控制;
- 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環(huán)水均可自動設(shè)置;
- 優(yōu)異的溫控均勻性,工藝重現(xiàn)性;
- 小尺寸臺式設(shè)計。
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 離子注入/接觸退火;
- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);
- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用;
- SiAu,SiAl,SiMo合金化;
- 低介電材料;
- 晶體化,致密化;
- 太陽能電池片鍵合。