悉識科技 非接觸桌面式自動 薄膜膜厚測厚儀
- 公司名稱 蘇州悉識科技有限公司
- 品牌 Acuitik
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/6/14 19:00:32
- 訪問次數(shù) 38
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 20萬-50萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,包裝/造紙/印刷,航空航天 |
悉識膜厚儀NS-30（國產(chǎn)自研，自主可控）
NS-30系列是桌面式自動膜厚測量分析系統(tǒng)。在膜厚測量的基礎上迭加自動測樣載臺，能夠對設置好的點位進行自動測量，并進一步生成2D和3D的資料分布圖。 NS-30系列適用于晶圓膜厚測量。
核心原理
垂直入射的高穩(wěn)定寬波段光入射到樣品表面，在各膜層之間產(chǎn)生光學干涉現(xiàn)象，反射光經(jīng)過光譜分析以及回歸算法可計算出薄膜各層的厚度。適合測量納米級至微米級的透明或半透明膜層的厚度、反射率、折射率等參數(shù)。
產(chǎn)品特色
1、測量范圍：可測量1納米到250微米的薄膜厚度、折射率、反射率。
2、非接觸測量：可測量硬質材料、軟質材料或表面易受損的樣品。
3、高精度，高穩(wěn)定性：亞納米級厚度測量精度，靜態(tài)穩(wěn)定性可達0.02納米。
4、多層膜測量能力：可以測量多層復合薄膜各層的厚度。
5、智能化算法：核心IP算法，一鍵式測量大跨度膜厚，極大簡化測量流程。
6、特色軟件功能：自研PolarX分析軟件，包含配方預測驗證、特殊材料捏合等功能。
核心功能
實測結果展示
特別說明
1、樣品自動測量，平臺尺寸100mm~450mm可選
2、軟件根據(jù)需求自動生成測量點位分布
3、2D和3D測繪效果，包含厚度/折射率/反射率等信息
4、可測量薄膜應力和表面彎曲（Stress/Bow)
悉識膜厚儀NS-30系列 參數(shù)規(guī)格
| 型號 | NS-30 UV | NS-30 | NS-30 NIR |
| 波長范圍 | 190 nm - 1100 nm | 380 nm - 1050 nm | 950 nm - 1700 nm |
| 厚度測量范圍 | 1 nm – 40 μm | 15 nm – 80 μm | 150 nm – 250 μm |
| 準確度 | 1 nm 或 0.2% | 2 nm 或 0.2% | 3 nm 或 0.4% |
| 精度 | 0.02 nm | 0.02 nm | 0.1 nm |
| 穩(wěn)定性 | 0.05 nm | 0.05 nm | 0.12 nm |
| 光斑大小 | 1.5 mm | ||
| 測量速度 | < 1s（單次測量） | ||
| 光源 | 鹵鎢燈 + 氘燈 | 鹵鎢燈 | 鹵鎢燈 |
| 樣品尺寸 | 直徑從1mm 到 300mm或更大 | ||
| 動態(tài)測量速度 | ||
| 樣品 | 200mm 晶圓 | 300mm 晶圓 |
| 速度 | 5個點 – 5秒 25個點 – 14秒 56個點 – 29秒 | 5個點 – 8秒 25個點 – 21秒 56個點 – 43秒 |
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