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SC1 日本ULVAC愛發(fā)科磁控管型冷陰極真空計(jì)
參考價(jià) | ¥ 5000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 湖南中崎科技有限公司
- 品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
- 型號(hào) SC1
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/6/25 16:11:43
- 訪問次數(shù) 111
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光學(xué)設(shè)備,電子計(jì)測(cè)儀器,科學(xué)儀器,實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,機(jī)械加工設(shè)備,環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科磁控管型冷陰極真空計(jì)
日本ULVAC愛發(fā)科磁控管型冷陰極真空計(jì)
特征
傳感器規(guī)格
當(dāng)不需要壓力顯示時(shí),可以實(shí)現(xiàn)以下優(yōu)點(diǎn):
由于取消了顯示器,真空計(jì)成本降低?更小的尺寸釋放了控制面板空間
減少布線
維護(hù)非常簡(jiǎn)單
消除了細(xì)絲:不會(huì)因暴露在大氣壓下而損壞
控制輸出符號(hào):2 個(gè)設(shè)定點(diǎn)輸出
輸出信號(hào):壓力讀數(shù)為 0 至 10V Log 輸出(非線性輸出)
電源電壓:DC24V 供電
應(yīng)用
用于半導(dǎo)體、光學(xué)和電子零件制造的精密真空設(shè)備壓力范圍內(nèi)的過程控制
工業(yè)設(shè)備(如熔爐)的低真空范圍內(nèi)的過程控制
在壓力范圍內(nèi)對(duì)具有多個(gè)工藝腔室的真空系統(tǒng)進(jìn)行工藝控制,例如在線濺射和單晶片加工設(shè)備
規(guī)格
類型 | 傳感器單元 | ||
型 | SC1 | ||
兼容的傳感器頭 | C-21、23、24、25 | ||
測(cè)量壓力范圍 | 1.0×10-5至 1.0 Pa | ||
7,5×10-8至 7.5×10-3托 | |||
1.0×10-7至 1.0×10-2毫巴 | |||
準(zhǔn)確性 | +100%,-50%(1.0×10-4至 1.0×10-1Pa) | ||
+100%,-50%(7.5×10-7至 7.5×10-4托爾) | |||
+100%,-50%(1.0×10-6至 1.0×10-3mbar 的 | |||
測(cè)量值輸出 | 非線性輸出:0 至 10VDC | ||
壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器 | 非線性輸出:0 至 10VDC | ||
控制輸入信號(hào) | HV 開/關(guān) | ||
控制輸出信號(hào) | 集電極開路輸出,負(fù)邏輯 確認(rèn)放電/設(shè)定點(diǎn)驅(qū)動(dòng)信號(hào) 1/2 | ||
控制輸出信號(hào) | 集電極開路輸出,負(fù)邏輯 確認(rèn)放電/設(shè)定點(diǎn)驅(qū)動(dòng)信號(hào) 1/2 | ||
LED顯示屏 | 電源、HV、保護(hù)、SETPOINT1/2 | ||
工作溫度范圍 | 10 至 40°C(50 至 104°F) | ||
工作濕度范圍 | 15 至 80%(不結(jié)露) | ||
電源電壓 | DC24V±2V,150mA | ||
輸入/輸出連接器 | D-sub-15pin(M2.6 螺絲) | ||
重量 | 430g(不包括傳感器頭) | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 輸入/輸出連接器 1 個(gè) | ||
快速手冊(cè) 1 個(gè) |
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