MW系列性能(大多數產品)

• 量程范圍: 0.5-1000 SLPM

• 控制范圍: 0.5% – 100% 滿量程

• 標準精度: ±0.75%讀數或 ±0.1% 滿量程 ,以較大者為準

• 可選高精度: ±0.6%讀數或+0.1% 滿量程 ,以較大者為準

• 重復性: ±(0.2% 讀數+ 0.02% 滿量程)

• 響應時間: 低至30毫秒

• 預熱時間:< 1s

MW系列操作條件

• 兼容氣體:  98個預載可選擇氣體校準 ;可定義為  作曲家

• 工作溫度: –10°C to +60°C

• 工作壓力: 60 PSIA

• 壓降(與范圍有關):  低至0.07pid

• 差壓:< 15 PSID

• 爆破壓力: 80 PSIA

• STP參考條件(默認值): 25°C & 1 ATM (STP) and 0°C & 1 ATM (NTP)

量程范圍  0.5 SCCM  到 1000 SLPM， 可控制范圍 0.5%至100% .

• 關于設備的規(guī)格 0.5SCCM 到 5SLPM ,請參閱  McW系列小流量裝置規(guī)格 .

• 關于設備的規(guī)格 10SCCM 到 100SLPM  ,請參閱  Mw系列中流量裝置規(guī)格 .

• 關于設備的規(guī)格 250SLPM 到 1000SLPM ,請參閱 McW系列大流量裝置規(guī)格 .

綜合設備指南,請閱讀 質量流量控制器操作手冊 .

包括每個裝置

• 多參數測量 :同時測量質量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

• 測量單位: 可選擇壓力測量單位， 工程單位列表。

• 可選擇性:  從我們的98+預載可跟蹤氣體校準中選擇您的工藝氣體。  氣體列表 .

• 混合氣體選擇:  定義20種自定義氣體混合物,最多可使用5種成分氣體 Composer ™ 。

• 背光顯示屏:  使用  背光顯示器 和控制配置與方便用戶的集成觸摸板。

• 用戶可調節(jié)的設定點斜坡和限制：可配置的斜坡速率允許根據需要控制過程變量的快或慢，并且可配置的設定點限制可保護過程免受無意的設定點變化的影響。

• 用戶可調整的標準溫度和壓力條件:  迅速地  更改NTP條件 不需要再校準。

• 閥門開合: 利用警報快速排氣系統(tǒng)或根據需要停止所有流量。

在購買時提出的要求(免費)

• 標配集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次質量流量，以便精確跟蹤一段時間內的總流量，并使用批量控制來分配精確的體積。

購買時提出的要求|額外費用

• 可選集成電位器控制: 使用 集成電位計 用簡單的旋鈕轉動調整SET點。

構成選擇

• 通信協議：Analog、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

• 顯示屏：背光單色屏或TFT彩屏，一體化集成或面板單獨安裝

• 過程連接： NPT、SAE、AN、BSPP/G、卡套接頭、VCR 或 VCO 接頭

• 密封圈：  Viton、FFKM、EPDM、硅膠

• 校準：自定義校準點

閥門選項和PID 調整

您的質量流控制器可以根據下列閥門選項之一進行定制,以確保在預期的流程條件下的越性能。

• MCW: 小型比例控制閥，用于20 SLPM以下流量

• MCPW: 小型比例控制閥具有最大的孔徑（不具備耐腐蝕性配置）

• MCHW: 錘頭結構，將兩個并排工作的小閥門配對為一個閥門

• MCRW: 幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于5 slpm以上流量

定制 PID 閥門調節(jié)可確保您的特定過程條件發(fā)揮越性能。