上海美析儀器有限公司
電感耦合等離子體質(zhì)譜在半導體高純材料分析中的應用
檢測樣品：半導體高純材料
檢測項目：痕量雜質(zhì)元素
方案概述：本文綜述了近十幾年來電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）在半導體行業(yè)高純材料分析方面的應用，分別討論了 IC 硅片表面、光伏硅材料、三氯氫硅、四氯化硅、高純試劑、超純水、高純氣等物質(zhì)中痕量雜質(zhì)元素的分析方法。
本文綜述了近十幾年來電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）在半導體行業(yè)高純材料分析方面的應用，分別討論了 IC 硅片表面、光伏硅材料、三氯氫硅、四氯化硅、高純試劑、超純水、高純氣等物質(zhì)中痕量雜質(zhì)元素的分析方法。
電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）是80 年代發(fā)展起來的新的檢測技術，已成為當代蕞薔有力的元素分析手段之一，其以桌越的痕量分析能力，被廣泛應用于多個領域。對痕量分析要求最高的，莫過于在半導體工業(yè)中對高純材料的雜質(zhì)分析，本文對近十幾年來電感耦合等離子體質(zhì)譜在半導體工業(yè)高純材料方面的分析應用做一綜述，分別討論了IC硅片表面、光伏硅材料、三氯氫硅、四氯化硅、高純試劑、超純水、高純氣等物質(zhì)中痕量雜質(zhì)元素的分析方法。
相關產(chǎn)品清單
溫馨提示：
1.本網(wǎng)展示的解決方案僅供學習、研究之用，版權歸屬此方案的提供者，未經(jīng)授權，不得轉(zhuǎn)載、發(fā)行、匯編或網(wǎng)絡傳播等。
2.如您有上述相關需求，請務必先獲得方案提供者的授權。
3.此解決方案為企業(yè)發(fā)布，信息內(nèi)容的真實性、準確性和合法性由上傳企業(yè)負責，化工儀器網(wǎng)對此不承擔任何保證責任。
最新解決方案
該企業(yè)的其他方案
業(yè)界頭條
- 曝光前基板溫度安定裝置中標結(jié)果公告
-
項目名稱：大尺寸高刷全覆蓋與混切產(chǎn)能提升項目,項目編號：4197-254CECCHOT16/08,招...
