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NanoChrome ULTRA系列超微量級分析儀

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌SERVOMEX

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

更新時間：2025-04-21 12:02:41瀏覽次數(shù)：621次

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產(chǎn)地類別 進口 應用領(lǐng)域 電子/電池
NanoChrome ULTRA系列超微量級分析儀
該ULTRA系列超微量級分析儀專為半導體過程應用設(shè)計，采用創(chuàng)新的高靈敏度等離子發(fā)射檢測技術(shù)(PED)，可精確測量H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar和NMHC氣體。其ProPeak鎖峰技術(shù)和直接分析方法確保了高的測量精度，廣泛應用于半導體生產(chǎn)和UHP氣體的質(zhì)量控制。
創(chuàng)新型ULTRA系列產(chǎn)品中的一員，用于半導體過程應用的超微量級分析儀，可測量

NanoChrome ULTRA系列超微量級分析儀


核心參數(shù)

儀器種類：在線

適用領(lǐng)域：高純氣體分析專用

控制溫度范圍： +5°C … +40°C (+41°F … +104°F)

載氣流量范圍及控制：90 … 810ml/分鐘

載氣壓力范圍及控制：O2背景氣 = 85psig，其他背景氣 = 80psig

進樣口壓力設(shè)定范圍：30psig（具體視應用而定）

進樣口總流量設(shè)定范圍：0 … 300ml/分鐘（具體視應用而定）


簡介

該ULTRA系列超微量級分析儀專為半導體過程應用設(shè)計，采用創(chuàng)新的高靈敏度等離子發(fā)射檢測技術(shù)(PED)，可精確測量H2、CH4、CO、CO2、N2、Ar和NMHC氣體。其ProPeak鎖峰技術(shù)和直接分析方法確保了高的測量精度，廣泛應用于半導體生產(chǎn)和UHP氣體的質(zhì)量控制。

創(chuàng)新型ULTRA系列產(chǎn)品中的一員，用于半導體過程應用的超微量級分析儀，可測量H2、CH4、CO、 CO2、N2、Ar和NMHC氣體.


性能:

創(chuàng)新的高靈敏度等離子發(fā)射檢 測儀 (PED)，可測量超微量級 Ar、N2、H2、CH4、CO、CO2和NMHC

ProPeak鎖峰技術(shù)，確保超高測量靈敏度

直接分析法，可避免FID和RGD的測量不確定性


主要應用:

半導體生產(chǎn) - 質(zhì)量控制

半導體生產(chǎn) - 臺式分析系統(tǒng)  

UHP氣體生產(chǎn) - 質(zhì)量控制



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