高精度對準與轉移電動顯微鏡二維平臺中,多方向、多角度移動的載物臺是核心組件,以下是一些典型平臺及其載物臺的特點:
二維顯微鏡載物臺:
行程與精度:提供130×100mm或250×100mm的行程選項,精度為5μm,重復精度小于0.5μm,最小移動增量為50nm。
速度與驅動:采用非接觸式直線電機和光學線性編碼器,最高速度可達750mm/s,且免維護。
角度調節(jié):支持360°無限位電動旋轉,重復定位精度高,適用于需要精確角度調節(jié)的應用。
控制與集成:內置控制器,通過單根電纜即可供電和控制,支持μManager顯微鏡軟件集成,提供LabVIEW認證驅動程序和Zaber-McLabor API,便于編程控制。
顯微鏡電動載物臺:
行程與精度:行程范圍有60×55mm和120×80mm可選,最小步長小于0.2μm,重復定位精度高。
穩(wěn)定性與響應速度:具有響應速度快、穩(wěn)定性好的特點,適用于顯微觀察、成像、自動化實驗和生物操作等領域。
擴展性:可選配Z軸平臺,實現三維精準定位,適用于幾乎所有常見的正置/倒置顯微鏡品牌。
自動顯微鏡系列兩維載物臺:
功能多樣性:雖然具體參數未詳細列出,但三英精控的產品線涵蓋了多種高精度位移臺和控制器,支持多方向、多角度的移動需求。
應用領域:其產品廣泛應用于半導體加工、納米定位等領域,表明其載物臺具有高精度和靈活性。
多方向、多角度移動載物臺的技術優(yōu)勢:
高精度對準與轉移:通過高精度位移臺與顯微成像聯動,實現二維材料層數、堆疊角度及位置的精準控制。例如,支持面內大角度旋轉,重復定位精度高,適用于研究空間反演對稱性破缺及堆疊方式影響。
可視化操作與集成化設計:顯微成像系統(tǒng)與電動位移平臺聯動,支持轉移過程實時監(jiān)控。設備集成顯微鏡、位移臺、真空吸附及加熱模塊,結構緊湊,便于在手套箱或無塵室環(huán)境中操作。
材料適應性廣:支持干法/濕法轉移,適用于易水解吸濕材料及潔凈度要求高的異質結制備。可選配手套箱內使用模塊,解決水氧敏感材料(如鈣鈦礦)轉移痛點。
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