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直線四探針法測量硅片電阻率的試驗方法RTS9四探針測試儀

閱讀:331          發(fā)布時間:2020-2-8
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RTS-9型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量,能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產(chǎn)的儀器是無法實現(xiàn)的。

RTS-9軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下,通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

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