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小型分子泵機(jī)組MPU-90i是由渦輪分子泵+前級(jí)泵+真空規(guī)組成的創(chuàng)新型產(chǎn)品，適用于制造業(yè)、分析儀器研發(fā)、真空鍍膜、熱處理、太陽(yáng)能和半導(dǎo)體、超高真空密封石英管等領(lǐng)域，為用戶提供超高真空一站式解決方案。1.超高真空：極限真空度可達(dá)到10-6Pa，真空度觸摸屏數(shù)字顯示；2.操作簡(jiǎn)易：提供中英文操作界面，觸摸屏一鍵啟動(dòng)分子泵和前級(jí)泵；3.智能化控制程序：采用“IL智能化控制程序"，防止誤操作損壞分子泵，控制軟件，操作簡(jiǎn)易，安全可靠；4.一機(jī)兩用：前級(jí)泵可獨(dú)立使用，滿足粗真空下的使用場(chǎng)景；也可以前級(jí)泵+分子泵聯(lián)動(dòng)使用，獲得超高真空環(huán)境，一機(jī)兩用，性價(jià)比高；5.安裝簡(jiǎn)單：出廠前已完成分子泵、前級(jí)泵、觸摸屏安裝，且完成氣密性檢測(cè)；6.全量程真空規(guī)：真空測(cè)量范圍1x10^5-1x10^-6Pa,垂直安裝確保測(cè)量準(zhǔn)確。