在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，溫度控制的精度與穩(wěn)定性直接影響產(chǎn)品良率與性能。TCU控溫單元Chiller作為配套溫控設(shè)備之一，其技術(shù)特性與應(yīng)用模式在半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中應(yīng)用廣泛。
一、技術(shù)原理與系統(tǒng)構(gòu)成
TCU控溫單元Chiller采用全密閉管道式設(shè)計(jì)，系統(tǒng)由壓縮機(jī)、板式換熱器、循環(huán)泵及控制系統(tǒng)等核心部件組成。制冷系統(tǒng)工作時(shí)，壓縮機(jī)排出的高溫高壓制冷劑氣體經(jīng)冷凝器冷凝為高壓過(guò)冷液體，通過(guò)膨脹閥節(jié)流降壓后進(jìn)入蒸發(fā)器，在蒸發(fā)器內(nèi)吸收導(dǎo)熱介質(zhì)熱量氣化，完成制冷循環(huán)。導(dǎo)熱介質(zhì)通過(guò)循環(huán)泵輸送至溫控區(qū)域，與半導(dǎo)體制造設(shè)備進(jìn)行熱交換，實(shí)現(xiàn)溫度控制?？刂葡到y(tǒng)采用前饋PID與無(wú)模型自建樹(shù)算法結(jié)合的方式，通過(guò)三點(diǎn)采樣實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度變化，動(dòng)態(tài)調(diào)整控制參數(shù)。這種控制模式能夠應(yīng)對(duì)系統(tǒng)滯后問(wèn)題，確保溫度控制的響應(yīng)速度與精度。
二、半導(dǎo)體制造中的溫控需求
半導(dǎo)體制造涉及薄膜沉積、光刻、刻蝕、離子注入等多個(gè)關(guān)鍵工藝，每個(gè)環(huán)節(jié)對(duì)溫度控制均有嚴(yán)格要求。以薄膜沉積工藝為例，沉積速率與薄膜質(zhì)量對(duì)溫度變化要求較高，溫度波動(dòng)需要控制，否則會(huì)導(dǎo)致薄膜厚度不均勻、成分偏差等問(wèn)題，影響器件性能。光刻工藝中，曝光設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)溫度穩(wěn)定性直接影響光刻精度。溫度變化會(huì)導(dǎo)致光學(xué)元件熱脹冷縮，改變光路路徑與焦距，進(jìn)而影響圖形轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性。刻蝕工藝中，反應(yīng)腔溫度控制不當(dāng)會(huì)導(dǎo)致刻蝕速率不穩(wěn)定、選擇比偏差，影響刻蝕輪廓與器件結(jié)構(gòu)。
三、實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景解析
在半導(dǎo)體設(shè)備冷卻加熱場(chǎng)景中，TCU控溫單元Chiller可用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備的溫度控制。在PECVD設(shè)備中，通過(guò)對(duì)反應(yīng)腔溫度的準(zhǔn)確控制，確保薄膜沉積速率與質(zhì)量的穩(wěn)定性。設(shè)備采用全密閉系統(tǒng)，避免導(dǎo)熱介質(zhì)與空氣接觸，防止介質(zhì)氧化或吸收水分，保證長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。在半導(dǎo)體材料低溫高溫老化測(cè)試中，該類設(shè)備可提供寬泛的溫區(qū)測(cè)試環(huán)境。通過(guò)程序編輯功能，可編制多段溫度曲線，模擬材料在不同溫度條件下的老化過(guò)程，評(píng)估材料性能的穩(wěn)定性。系統(tǒng)支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出功能，可實(shí)時(shí)記錄溫度變化數(shù)據(jù)，為材料研發(fā)與質(zhì)量控制提供準(zhǔn)確依據(jù)。
對(duì)于半導(dǎo)體芯片測(cè)試用控溫系統(tǒng)，TCU控溫單元Chiller可實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片測(cè)試環(huán)境的準(zhǔn)確控溫。在芯片性能測(cè)試中，溫度作為關(guān)鍵參數(shù)之一，需保持高度穩(wěn)定。設(shè)備采用磁力驅(qū)動(dòng)泵，無(wú)軸封泄漏問(wèn)題，確保測(cè)試環(huán)境的潔凈度，避免因泄漏導(dǎo)致的測(cè)試誤差或設(shè)備損壞。
在半導(dǎo)體制造向高精度、高集成度發(fā)展的趨勢(shì)下，TCU控溫單元Chiller憑借其準(zhǔn)確的溫度控制、穩(wěn)定的性能表現(xiàn)及完善的安全機(jī)制，成為半導(dǎo)體制造過(guò)程中配套使用的溫控設(shè)備。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷進(jìn)步，該類設(shè)備將在更廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景中發(fā)揮重要作用，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供控溫支持。
