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Free3D.ZTxTy.150-壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái),三自由度,ZTT移動(dòng)
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更新時(shí)間:2025-05-04 21:00:07

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Free3D.ZTxTy.150,壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái),三自由度,ZTT移動(dòng);由納米級(jí)驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),有效降低累積誤差;多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高。

壓電·三軸并聯(lián) Free3D.ZTxTy.150

? 3自由度并聯(lián)設(shè)計(jì),空間中ZTT移動(dòng)

由納米級(jí)驅(qū)動(dòng)單元實(shí)現(xiàn)的三自由度并聯(lián)結(jié)構(gòu),有效降低累積誤差

多軸姿態(tài)同時(shí)調(diào)節(jié)、結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛性高;

平動(dòng)行程:Z  ±5 mm;

主體材料:鋁合金;

角擺行程:ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °;

最大垂直負(fù)載:3 kg;

• 單向重復(fù)定位精度Z±0.15 μm;

單向重復(fù)定位精度ΘX, ΘY±2.5 μrad, ±2.5 μrad;

最小位移Z:25 nm;

最小位移ΘX, ΘY:7.5 μrad, 7.5 μrad

• 速度:1 mm/s - 10 mm/s;

重量:1.5 kg

可提供真空環(huán)境規(guī)格;

集成傳感器:光學(xué)編碼器;

位置傳感分辨率:2 nm;

控制軟件:提供PC端使用軟件;

控制器通道:3通道輸出控制;

 控制方式:根據(jù)用戶輸入的位移指令,實(shí)現(xiàn)對位移臺(tái)三軸空間姿態(tài)的運(yùn)動(dòng)調(diào)節(jié);各驅(qū)動(dòng)單元模塊通過光柵位置反饋實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制;通過專用軟件,實(shí)現(xiàn)對三軸并聯(lián)運(yùn)動(dòng)的解算,分配到各驅(qū)動(dòng)單元模塊,實(shí)現(xiàn)三軸空間姿態(tài)的同時(shí)調(diào)節(jié)


壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái),三自由度,ZTT移動(dòng)——詳細(xì)參數(shù):



壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái),三自由度,ZTT移動(dòng)——尺寸圖

壓電三軸并聯(lián)位移臺(tái),三自由度,ZTT移動(dòng)




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