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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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日本樫山工業(yè)（Kashiyama Industrial Co., Ltd.）創(chuàng)立于1949年，總部位于日本愛知縣春日井市，擁有70多年的歷史，是一家以專業(yè)研發(fā)、制造真空泵及相關(guān)設(shè)備而有名的工業(yè)技術(shù)企業(yè)，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、食品、醫(yī)藥等領(lǐng)域。以下是對其主要產(chǎn)品真空泵的工作原理及相關(guān)技術(shù)參數(shù)的專業(yè)介紹：
機械真空泵工作原理
機械真空泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片等關(guān)鍵部件構(gòu)成。當(dāng)電機驅(qū)動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，旋片在離心力作用下緊貼泵腔內(nèi)壁，形成多個小腔室。這些腔室在旋轉(zhuǎn)過程中不斷變化體積，實現(xiàn)氣體的吸入、壓縮，并最終通過排氣口排出，從而在泵的吸入端形成真空環(huán)境
水環(huán)真空泵工作原理
水環(huán)真空泵由圓形殼體和偏心安裝的葉輪組成。葉輪旋轉(zhuǎn)時，水在離心力作用下形成與殼體同心的水膜，葉輪與水膜及相鄰葉片形成密封空間。隨著葉輪旋轉(zhuǎn)，該空間體積變化，完成吸氣、壓縮和排氣過程，實現(xiàn)真空環(huán)境
干式真空泵工作原理
干式真空泵無需油或水等介質(zhì)潤滑和密封。以干式螺桿泵為例，兩個螺桿轉(zhuǎn)子反向旋轉(zhuǎn)，氣體被吸入并隨著螺桿的螺旋運動被壓縮，最終排出泵體，從而實現(xiàn)真空
技術(shù)參數(shù)
| 系列名稱 | 電機功率(kW) | 極限壓力(Pa) | 排氣速度(m3/h) | 冷卻方式 | 重量(kg) |
|---|---|---|---|---|---|
| SDE-X | 1.3 | 0.12-1.0 | 200-500 | 風(fēng)冷 | 約150-200 |
| LEM | 0.2-11 | 2.3×103-7.3×103 | 17-300 | 水冷 | 15-300 |
| LEH | 0.75-7.5 | 2.3×103-7.3×103 | 22-150 | 水冷 | 19-250 |
| SDE-TX | 具體值未提及 | 0.5 | 30000 | 具體方式未提及 | 440 |
| NeoDry15G | 具體值未提及 | 1.0 | 250 | 具體方式未提及 | 約120-150 |
樫山工業(yè)的真空泵產(chǎn)品憑借其性能和可靠性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、化學(xué)處理、食品包裝、醫(yī)藥生產(chǎn)等領(lǐng)域，為各行業(yè)的工藝流程提供了關(guān)鍵的真空環(huán)境支持，推動了相關(guān)技術(shù)的發(fā)展和進(jìn)步。在半導(dǎo)體行業(yè)，其產(chǎn)品可用于PVD、CVD、刻蝕等工藝，滿足高潔凈度要求。在化工領(lǐng)域，適用于各種化學(xué)反應(yīng)的真空環(huán)境需求。在食品包裝方面，能有效實現(xiàn)食品的真空包裝，延長保質(zhì)期。在醫(yī)藥生產(chǎn)中，可用于藥品的干燥、提取等工藝過程。
