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探針顯微冷熱臺是一種用于多領域微觀研究的溫控平臺

來源:上海波銘科學儀器有限公司   2025年08月08日 17:13  
  探針顯微冷熱臺是結合探針測試與溫度控制的科學儀器,主要用于半導體器件在高溫/低溫環(huán)境下的電性能測試??蓪崿F(xiàn)-190℃至+600℃的準確控溫,支持快速升溫/降溫(1-200℃/min),適用于材料燒結、熔點分析等實驗。配備精密探針系統(tǒng),支持直流/射頻測試,可測量芯片電阻、可靠性測試及高溫/低溫環(huán)境下的溫度特性測試。 與光學顯微鏡兼容,可觀察流體包裹體、熔融包裹體等微觀結構變化,適用于礦物學、材料科學等領域。‌
 
  其核心功能在于:
 
  寬溫域控制:通過液氮制冷、電阻加熱或半導體制冷(Peltier效應)技術,實現(xiàn)-190℃至1000℃的寬溫區(qū)調控。
 
  探針電學測試:配備X/Y/Z三軸精密位移平臺(如位移精度≤1μm),支持探針與樣品表面微米級對準,實現(xiàn)電導率、IV曲線等電學性能測試。例如,在半導體器件研究中,可準確測量晶圓級樣品在不同溫度下的電學特性。
 
  顯微成像協(xié)同:集成光學透明窗口(如藍寶石玻璃)或透光孔設計,兼容光學顯微鏡、熒光顯微鏡及拉曼光譜儀等設備,實現(xiàn)樣品在溫變過程中的微觀結構實時觀察。例如,在材料科學中,可觀測高分子材料在相變過程中的晶格結構變化。
 
  應用場景
 
  ‌半導體測試‌:評估芯片在**溫度下的電性能穩(wěn)定性。 ‌
 
  ‌材料研究‌:研究熱膨脹系數(shù)、相變溫度等熱物理特性。 ‌
 
  ‌工業(yè)檢測‌:汽車零部件、電子元件的耐溫可靠性測試。

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