隔膜閥FVPDF-R144LC-EM2G款到秒發(fā)貨

富士金隔膜閥的工作原理是通過機(jī)械加速機(jī)構(gòu)（如危急遮斷器或手動遮斷滑閥）的單動作或同時動作，使透平油系統(tǒng)中的保安油油壓下降或消失，從而使壓縮彈簧打開薄膜閥，將AST油通過無壓力回油母管排至EH油箱，進(jìn)而關(guān)閉所有閥門。

適用于各種半導(dǎo)體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。

該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，達(dá)到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。 并且在Mega系列膜片閥基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)了小型化。

口徑：1/4”～1/2”使用壓力可達(dá)20.5Mpa 材質(zhì)：SUS316L EP級處

應(yīng)用行業(yè):半導(dǎo)體、太陽能、液晶面板制造等行業(yè)，或者其他一些有超高純流體要求的行業(yè).

應(yīng)用流體:設(shè)備和機(jī)臺里面的超高純氣體、易燃易爆氣體以及有毒氣體等特種電子氣體.

工作壓力:低壓(1MPa),高壓(16.2MPa)

工作溫度: -10℃-80℃

動作方式:手動和氣動

氣動閥有常開和常閉兩種初始狀態(tài)可選

連接方式:焊接、卡套、VCR等連接方式

表面處理:EP(標(biāo)準(zhǔn))，10Ra,Ry＜1.0um; UP (可選):5Ra,Ry＜0.7um.

接口尺寸:1/4”-3/4”

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