CY-CVD1200-50-200×200-2TH-Q 兩通道CVD系統(tǒng)
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-CVD1200-50-200×200-2TH-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 13:16:59
- 訪問次數(shù) 29
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
本CVD系統(tǒng)帶水冷法蘭雙路流量計并配有雙極旋片泵、水冷機、數(shù)字真空計且該CVD系統(tǒng)可抽真空、通氣氛用于各種CVD實驗。
主要技術參數(shù):
雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格:
主要技術參數(shù) | ||
雙 溫 區(qū) 管 式 爐 | 顯示模式 | 7英寸觸摸屏 |
真空控制 | 可通過參數(shù)設置,自動完成抽真空,恒壓工作 | |
爐管材料 | 高純石英 | |
爐管尺寸 | 直徑:50mm,長度1000mm | |
加熱溫區(qū) | 兩溫區(qū) | |
溫區(qū)長度 | 200mm+200mm | |
工作溫度 | 室溫~1100℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
升溫速率 | 建議10℃/min | |
控溫模式 | 可編程程序控溫 | |
密封方式 | 真空法蘭密封 | |
雙通道質(zhì)量流量計 | 氣體通道 | 兩通道 |
測量儀器 | 質(zhì)量流量計 | |
A路量程 | 氫氣:0~500SCCM | |
B路量程 | 氬氣:0~1000SCCM | |
連接管道 | 拋光不銹鋼管 | |
氣體緩沖器 | 1000ml | |
工作壓力 | ≦3Mpa | |
工作壓差 | 0.3MPa | |
管道接口 | 6.35mm卡套接頭 | |
真空泵 | 抽氣接口 | KF25 |
排氣接口 | KF25 | |
抽氣速率 | 24立方米/小時 | |
極限真空 | 5.0E-2Pa | |
電機功率 | 1100W | |
電機轉(zhuǎn)速 | 1440轉(zhuǎn)/分鐘 | |
真空計 | 傳感器類型 | 皮拉力 |
真空量程 | 1.0E-1Pa~1.0E5Pa | |
安裝方式 | 豎直放置 | |
工作電壓 | DC24V | |
相關配件 | 連接管道 | KF25波紋管1米長 |
聚四氟管5米 | ||
石英爐管1根 | ||
爐管塞子4個 | ||
爐鉤1支 | ||
防護手套1雙 | ||
真空法蘭1套(帶密封圈、針閥、氣路接頭) |
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