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CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q 1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號 CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 13:55:01
- 訪問次數(shù) 34
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
1200℃三溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實驗效率。
系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計,精度高可靠性強,可以準確混合1~3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效。若客戶有特殊需要也可聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達到1.0E-3pa級別的真空度,較普通機械泵可以為用戶提供更純凈嚴苛的實驗環(huán)境。
技術(shù)參數(shù):
真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號 CY-CVD1200-50-300×300×300-3TH-Q 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 50mm(可選配60mm、80mm、100mm) 爐管長度 1300mm 爐膛長度 1060mm 加熱區(qū)長 300mm+300mm+300mm 工作溫度 0~1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質(zhì)量流量計 測量量程 A通道:0~100SCCM H2氣 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來選配對應的氣體種類和量程的流量計。 B通道:0~300SCCM N2氣 C通道:0~500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50~300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號 CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵:600L/S 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa 旋片泵:1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測量 復合真空計:電阻規(guī)+電離規(guī) 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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