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更新時(shí)間：2025-07-31 16:44:05瀏覽次數(shù)：57評價(jià)

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產(chǎn)品分類品牌分類

晶圓盒傳送存儲(chǔ)系統(tǒng) Stocker

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產(chǎn)品簡介

300mm 晶圓盒傳送存儲(chǔ)系統(tǒng)主要由晶圓盒FOUP載入系統(tǒng)LoadPort、晶圓盒緩存架Shelf、機(jī)械手Robot、全密封式FIMS、氣動(dòng)系統(tǒng)以及電控系統(tǒng)等部分組成。實(shí)現(xiàn)晶圓盒FOUP的載入載出、暫存和晶圓盒FOUP開關(guān)等功能。該產(chǎn)品中晶圓盒FOUP載入系統(tǒng)分為A/B兩個(gè)工位，用于實(shí)現(xiàn)晶圓盒FOUP的載入載出，晶圓盒FOUP緩存架共有18個(gè)工位，可以實(shí)現(xiàn)多個(gè)FOUP的存儲(chǔ)。機(jī)械手Robot用于在各工位之間的取放和搬運(yùn)。全密封FIMS可以實(shí)現(xiàn)晶圓盒FOUP開關(guān)盒功能并保證Stocker與工藝設(shè)備之間的密封要求。

詳細(xì)介紹

創(chuàng)新點(diǎn)

自動(dòng)化效率高

可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)，實(shí)現(xiàn)無人作業(yè)，可以有效避免人為因素的干擾。

全密封FIMS

創(chuàng)新型結(jié)構(gòu)形式，對顆粒管控更嚴(yán)格，國內(nèi)產(chǎn)品。

天車系統(tǒng)交互

具有與客戶端天車OHT系統(tǒng)交互晶圓盒FOUP功能，具有晶圓盒FOUP移載、存儲(chǔ)功能。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體—集成電路

半導(dǎo)體—封裝

半導(dǎo)體顯示

功率半導(dǎo)體

化合物半導(dǎo)體

光伏

技術(shù)指標(biāo)

振動(dòng)值	≤0.3g
顆粒指標(biāo)	＜10ea@0.02微米, ＜3ea@0.5微米
FIMS氮?dú)獯祾?/strong>	80L/min流量下4min將晶圓盒FOUP內(nèi)氧氣濃度降低至≤50ppm