中瑞祥勻膠機(jī)旋涂?jī)x旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)操作說(shuō)明書(shū)
旋涂?jī)x有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來(lái)說(shuō)，他們?cè)矶际且粯拥?，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
旋涂?jī)x的操作說(shuō)明：
1.開(kāi)機(jī)前準(zhǔn)備
(1) 用丙酮與無(wú)塵紙清理之前光阻圖布的殘余物.
(2) a. 選擇適合尺寸大小的吸盤(pán)(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8").
b. 將吸盤(pán)裝上(將吸盤(pán)缺口處對(duì)準(zhǔn)軸心之插梢位置).
c. 將樣品放在吸盤(pán)上(啟動(dòng)前請(qǐng)確定樣品放在吸盤(pán)正中央的位置). ※ 不可放入破片只能放4吋晶圓,以防光阻倒流入真空吸槽.
2.開(kāi)機(jī)&設(shè)定
(1) a. 將"POWER"開(kāi)關(guān)打開(kāi).
b. 將"CONTROL"按鈕壓下(若沒(méi)有壓下則機(jī)臺(tái)將無(wú)法操作).
(2) 設(shè)定涂布的時(shí)間及轉(zhuǎn)速 : Step I Timer I : 2~18 Sec Speed I : 500~2500R.P.M. Step II Timer II : 3~60 Sec Speed II : 1000~8000R.P.M.
(3) 打開(kāi)真空幫浦開(kāi)關(guān),并將"VACUUM"按鈕壓下此時(shí)開(kāi)始抽真空吸附樣品. 啟動(dòng)"START"前,請(qǐng)確認(rèn)涂布的時(shí)間及轉(zhuǎn)速是否已設(shè)定完成.
(4) 將光阻劑滴在樣品中心的位置.并將上蓋蓋上,防止意外發(fā)生.
(5) 壓下"START"按鈕,此時(shí)機(jī)臺(tái)開(kāi)始依步驟(4)的設(shè)定條件依Step I,Step II 的 順序開(kāi)始涂布樣品.
(6) 待時(shí)間完畢后,機(jī)臺(tái)隨即停止運(yùn)轉(zhuǎn),完成涂布的動(dòng)作.
3.關(guān)機(jī)
(1) 將"VACUUM"關(guān)閉,并將真空幫浦關(guān)閉,取下完成樣品.
(2) 將"CONTROL"按鈕及"POWER"開(kāi)關(guān)關(guān)閉. PS. 此機(jī)臺(tái)有預(yù)留廢液回收口,可將多余廢液排出.
(3) 用丙酮清理圖布后的光阻痕跡.
