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寶德類型 8741 - 氣體質(zhì)量流量控制器 (MFC)/氣體質(zhì)量流量計 (MFM

2025-6-12  閱讀(181)

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上海東庚設(shè)備工程技術(shù)有限公司是德國寶德(BURKERT)公司長期授權(quán)服務商,負責Burkert產(chǎn)品在國內(nèi)的銷售并提供技術(shù)服務。產(chǎn)品包括電磁閥、過程控制閥、儀器儀表、微流量閥、氣動產(chǎn)品,廣泛應用于水處理、醫(yī)藥化工、食品飲料生產(chǎn)、氣體應用、醫(yī)療器械和實驗室設(shè)備,Burkert在全球 Fluid Control Systems 領(lǐng)域處于地位,Bürkert 公司不僅是流體技術(shù)開發(fā)商,同時也是機械生產(chǎn)、泵技術(shù)、線圈生產(chǎn)、塑料技術(shù)和焊接技術(shù)方面的專家。而且還是工具制造商、軟硬件開發(fā)商、配電和設(shè)備制造商、項目經(jīng)理等等。此外,Burkert還負責全球許可證。對客戶的定制服務不僅僅是單獨開發(fā)產(chǎn)品,而也包括其相關(guān)的生產(chǎn)流程和物流作業(yè)流程。為客戶訂制個性化解決方案.


  • 工作原理:基于熱傳導原理,利用熱 MEMS 傳感器測量。傳感器直接位于氣流中,內(nèi)置加熱元件和測溫元件。當氣體流動時,加熱元件的熱量被氣體帶走,測溫元件檢測到溫度變化(ΔT),通過 ΔT 與氣體質(zhì)量流量的線性關(guān)系,結(jié)合 PID 控制算法,實時調(diào)節(jié)閥門開度,實現(xiàn)流量閉環(huán)控制。

  • 主要特點

    • 高精度和高重復性:測量精度可達 ±0.8% o.R. ±0.3% F.S.,誤差通?!?plusmn;1% F.S.,重復性達 ±0.2% F.S.。

    • 極快的響應時間:響應時間<300ms,能快速對流量變化做出反應,適用于動態(tài)調(diào)節(jié)場景。

    • 寬量程比:可調(diào)比為 50:1,可選 100:1,額定流量范圍為 0.010l/min 至 160l/min。

    • 通信功能強大:可配備工業(yè)以太網(wǎng)、模擬或現(xiàn)場總線接口?;?CANopen 的 Bürkert 系統(tǒng)總線(büS)版本,能方便地集成到現(xiàn)有的 CANopen 網(wǎng)絡中,或與 ME43 型現(xiàn)場總線網(wǎng)關(guān)結(jié)合,集成到工業(yè)以太網(wǎng)或現(xiàn)場總線的所有通用工業(yè)標準中,最多 32 個 MFC/MFM 可連接至現(xiàn)場總線網(wǎng)關(guān)。

    • 配置靈活:可根據(jù)需要配置為 MFM 或 MFC,設(shè)備最多可存儲四條校準曲線,方便用戶針對不同氣體或應用場景進行校準和切換。還可通過配置記憶卡簡化設(shè)備的更換工作。

  • 應用場景:廣泛應用于半導體、新能源、環(huán)保、科研、醫(yī)療及航空航天等領(lǐng)域。例如在晶圓清洗、氣相沉積(CVD)、刻蝕工藝中的氣體輸送控制,以及氫能系統(tǒng)中燃料電池的氫氣流量控制等場景。

  • 技術(shù)參數(shù)

    • 工作介質(zhì):中性、未受到污染的氣體,根據(jù)要求也可使用其他介質(zhì)。

    • 校準介質(zhì):工作氣體或空氣。

    • 工作壓力:10bar(145psi),對于 MFC,最高工作壓力取決于閥門有效通徑。

    • 環(huán)境溫度:-10°C 至 + 50°C,根據(jù)要求可以適用于更高的溫度。

    • 防護等級:IP20。

    • 工作電壓:24V DC。

    • 功率消耗:1…3W(作為 MFM)。

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