目錄:深圳市錫成科學(xué)儀器有限公司>>通用試驗(yàn)設(shè)備>>涂膜/鍍膜設(shè)備>> Laurell WS-650勻膠旋涂?jī)x
| 參考價(jià) | ￥ 80000 |
| 訂貨量 | ≥1臺(tái) |
| ￥80000 |
| ≥1臺(tái) |
更新時(shí)間：2025-04-18 08:17:12瀏覽次數(shù)：1037評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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勻膠旋涂?jī)xWS-650在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類(lèi)膠液，利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上，旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間、膠液和基片間的粘滯系數(shù)都會(huì)影響成膜厚度，旋轉(zhuǎn)過(guò)程及轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性對(duì)成膜質(zhì)量也有較大影響。
1.樣品尺寸：φ3~300mm
2.加速度：80000rpm/s（空載），30000rpm/s（負(fù)載：100mm標(biāo)準(zhǔn)晶圓）
3.轉(zhuǎn)速：1~12000rpm，伺服電機(jī)分辨率4000P/rev
4.旋轉(zhuǎn)方向：選配Hz型馬達(dá)，旋轉(zhuǎn)方向雙向可調(diào)
5.CDA/N2氣流保護(hù)技術(shù)
6.可選自動(dòng)滴膠模塊，EBR晶圓去邊模塊
7.多種托盤(pán)可選，適用各種材質(zhì)的樣品
勻膠旋涂?jī)x托盤(pán)解決方案
1.常用真空托盤(pán)：10~150mm無(wú)需更換。
2.嵌入式：托盤(pán)中部做成圓形凹槽，樣品可嵌入其中，以避免樣品厚度過(guò)大引起氣體渦流效應(yīng)。
3.蜂窩式：適用于超薄易變形軟質(zhì)材料和易碎材料。
4.卡式托盤(pán)：適用于無(wú)法真空吸附的樣品，或者兩面都需要處理的樣品，因?yàn)楣潭〞r(shí)需要盡量減小與托盤(pán)的接觸面積，也可以使用卡式托盤(pán)，卡式托盤(pán)使用時(shí)轉(zhuǎn)速不宜過(guò)高。
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