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中級(jí)會(huì)員·1年
UTM4300A-MSULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 真空
| 參考價(jià): | ￥ 12000 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- UTM4300A-MS 產(chǎn)品型號(hào)
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 成都市 所在地
訪問次數(shù)：110更新時(shí)間：2025-05-10 14:58:06
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
|---|---|---|---|
| 葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。
產(chǎn)品介紹
ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 真空 UTM4300A-MS
ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 真空 UTM4300A-MS
渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。 該泵通過高速移動(dòng)分子來有效地產(chǎn)生真空。
渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定定子組成。 轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產(chǎn)生真空。 這個(gè)過程利用分子的動(dòng)能并且非常高效。
與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準(zhǔn)備真空環(huán)境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作，并且具有從低真空到超高真空的廣泛適用性，并應(yīng)用于各種行業(yè)和研究領(lǐng)域。
這是一種渦輪分子泵，帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號(hào)陣容。 控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
長(zhǎng)處
泵體和控制器部分分離，
可在控制器部分監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，并兼容各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
自由安裝方向 由于對(duì)
安裝方向沒有限制，因此擴(kuò)大了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
抽速 300L/s ~ 4000L/s 級(jí)
可在泵速的 25 ~ 100% 范圍內(nèi)改變變
速，并可調(diào)節(jié)腔室壓力。
高耐用性和安全性 它已通過各種安全確認(rèn)測(cè)試，例如
大氣進(jìn)入測(cè)試和著陸測(cè)試。
用
各種設(shè)備的
真空主排氣系統(tǒng) - 半導(dǎo)體制造設(shè)備
- 氣相沉積設(shè)備
- 濺射設(shè)備
- 分析設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等
- 研發(fā)設(shè)施
輕工藝主排氣系統(tǒng)，無副反應(yīng)產(chǎn)物
其他高真空排氣應(yīng)用
| 型 | UTM1300A 質(zhì)譜儀 | UTM1500A-MS | UTM2400A 質(zhì)譜儀 | UTM3400A 質(zhì)譜儀 | UTM4300A 質(zhì)譜儀 | ||
| 進(jìn)氣口 | VG200 / ICF253 | VG250 系列 | VG300 / VG350 | VG350型 | |||
| 排氣口 | 肯氟烴40 | ||||||
| 冷卻方式 | 水冷式 | ||||||
| 極限壓力 *1 | 帕 | 10-7 | |||||
| 抽速 *2 | 注 2 | L/s | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 氦氣 | L/s | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | L/s | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| H2 系列 | L/s | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮比 | 注 2 | 6×108 | 1×109 | ||||
| 他 | 1×104 | 7×104 | 1×105 | 3×104 | |||
| H2 系列 | 1×103 | 3×103 | 6×103 | 2×103 | |||
| 最大入口壓力 *3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 最大排氣口壓力 *3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 轉(zhuǎn)速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 7 分鐘或更短 | 11 分鐘或更短 | 12 分鐘或更短 | 18 分鐘或更短 | |||
| 安裝方向 | 可全向安裝 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1~3 | 2~4 | |||
| 水壓 | MPaG | 02~0.5 | |||||
| 噪聲 | 分貝（A） | 60 | 57 | 60 | |||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦的輔助泵 | 600L/min 或更高 | 1300L/min 或更高 | 1500L/min 或更高 | ||||
| 控制器 | 配置 | 分開 | |||||
| 輸入功率 | 單相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz） | ||||||
| 最大功率要求 | 千伏安 | 1.0 | 1.5 | ||||
| 變速功能 | 運(yùn)行速度可在泵指定轉(zhuǎn)速的 25% ~ 100% 之間變化（設(shè)置以 0.1% 為增量） | ||||||
| 外部控制 | 觸點(diǎn)輸入和輸出 | ||||||
| RS-232C / RS-485 | |||||||
| 質(zhì)量 | 公斤 | 8 | |||||
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