F40 Filmetrics 光學(xué)膜厚測量儀
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 F40
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/6/24 14:28:53
- 訪問次數(shù) 3517
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產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 | 波長范圍 | 190nm-1690nm |
光源 | 內(nèi)部顯微鏡光源 | 測量nk值最小厚度 | 50nm |
穩(wěn)定性 | 0.05nm | 測量精度 | 0.02nm |
Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀
Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品介紹:
Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀的光譜測量系統(tǒng)讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測量結(jié)果。當測量需要在待測樣品表面的某些微小限定區(qū)域進行,或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時,可以使用Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀。使用先校正顯微鏡的物鏡,再進行測量,即可獲得厚度及光學(xué)參數(shù)值。只要透過Filmetrics的C-mount連接附件,F(xiàn)ilmetrics F40 薄膜厚度測量儀就可以和市面上多數(shù)的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭,可以讓用戶從電腦屏幕上清晰地看樣品和測量位置。
Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品特點優(yōu)勢:
結(jié)合顯微鏡的膜厚測量系統(tǒng),光斑小至一微米的測量精度;
匹配市面多數(shù)的顯微鏡連接使用;
清晰且直觀地觀察樣品并確認測量位置;
Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀測量原理:
當入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品應(yīng)用與膜層范例:
薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等
薄膜種類:透明及半透明薄膜,常見如氧化物、聚合物甚至空氣
薄膜狀態(tài):固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測量
薄膜結(jié)構(gòu):單層膜、多層膜;平面、曲面
Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品常見工業(yè)應(yīng)用:
生物醫(yī)學(xué)元件 | MEMS微機電系統(tǒng) | LCD液晶顯示器 | |
光刻膠 | 聚合物 | 光刻膠 | 盒厚 |
氧化物/氮化物 | 聚對二甲苯 | 硅膜 | 聚酰亞胺 |
硅 | 生物膜/氣泡墻厚度 | 氮化鋁 | ITO導(dǎo)電透明膜 |
半導(dǎo)體膜層 | 植入藥物涂層 | 氧化鋅薄膜濾鏡 |
Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品參數(shù):
波長范圍: | 190nm-1690nm | 光源: | 內(nèi)部顯微鏡光源 |
測量nk值最小厚度 | 50nm | 測量精度: | 0.02nm |
穩(wěn)定性: | 0.05nm | 準確度*:取較大者 | 50nm |
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