F60-t Filmetrics 自動光反射膜厚測量儀
參考價 | ¥ 1 |
訂貨量 | ≥1 件 |
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 KLA-Tencor
- 型號 F60-t
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/6/25 10:12:32
- 訪問次數(shù) 2666
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 | 波長范圍 | 190nm-1340nm |
光源 | 鎢鹵素?zé)?/td> | 光斑大小 | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米(最小可達(dá)150μm) |
測量精度 | 0.02nm1 | 準(zhǔn)確度*:取較大者 | 1nm或0.2% |
穩(wěn)定性 | 0.05nm3 |
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品介紹:
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀就像我們的F50白光干涉膜厚測量儀產(chǎn)品一樣。主要測繪薄膜厚度和折射率。但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。這些功能包括凹槽自動檢測、自動基準(zhǔn)確定、全封閉測量平臺、預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機(jī),以及可以升級到全自動化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀特點(diǎn)優(yōu)勢:
自動化薄膜厚度繪圖系統(tǒng),快速定位、實(shí)時獲得結(jié)果;
可測樣品膜層:基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測量;
所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件;
凹槽自動檢測
自動基準(zhǔn)確定
全封閉測量平臺
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品測量原理:
當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品應(yīng)用:
顯示技術(shù) | 消費(fèi)電子 | 派瑞林 | |
光刻膠 | OLED | 防水涂層 | 電子產(chǎn)品/電路板 |
介電層 | ITO和TCOs | 射頻識別 | 磁性材料 |
砷化鎵 | 空氣盒厚 | 太陽能電池 | 醫(yī)學(xué)器械 |
微機(jī)電系統(tǒng) | PVD和CVD | 鋁制外殼陽極膜 | 硅橡膠 |
Filmetrics F60-t 自動光反射膜厚儀產(chǎn)品參數(shù):
波長范圍: | 190nm-1340nm | 光源: | 鎢鹵素?zé)?/span> |
光斑大小: | 標(biāo)準(zhǔn)1.5毫米(最小可達(dá)150μm) | 測量精度: | 0.02nm1 |
準(zhǔn)確度*:取較大者 | 1nm或0.2% | 穩(wěn)定性: | 0.05nm3 |
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