化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>生命科學(xué)儀器>實(shí)驗(yàn)室低溫存儲(chǔ)>低/恒溫循環(huán)泵>CY-CVD1200-50-400-3TH-Q 1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)
CY-CVD1200-50-400-3TH-Q 1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)
- 公司名稱(chēng) 鄭州成越科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號(hào) CY-CVD1200-50-400-3TH-Q
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/30 21:36:33
- 訪問(wèn)次數(shù) 28
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發(fā)鍍膜儀,勻膠機(jī)旋涂?jī)x,熔煉爐,涂布機(jī),放電等離子燒結(jié)爐,靜電紡絲機(jī),金剛石線切割機(jī),RTP退火爐,晶體生長(zhǎng)爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機(jī),
1200℃單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì),可以混合1~3路氣體,較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面,可以監(jiān)測(cè)氣體壓力及混合槽壓力。
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù):
1200單溫區(qū)3路浮子供氣低真空CVD系統(tǒng) 真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號(hào) CY-CVD1200-50-400-3TH-Q 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 50mm(可選配60mm、80mm、100mm) 爐管長(zhǎng)度 800mm 爐膛長(zhǎng)度 440mm 加熱區(qū)長(zhǎng) 400mm 恒溫區(qū)長(zhǎng) 200mm 工作溫度 0~1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號(hào) CY-3F 氣體通道 3通道 測(cè)量部件 氣體浮子流量計(jì) 測(cè)量量程 A通道:0~100ml/min H2氣 備注:如需其它量程或氣體種類(lèi),定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶(hù)的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類(lèi)和量程的流量計(jì)。 B通道:16~160ml/min N2氣 C通道:25~250ml/min Ar氣 測(cè)量精度 ±2.0% 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50~300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門(mén) 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 排 氣 系 統(tǒng) 機(jī)械泵 旋片泵 抽氣速率 1.1L/S 排氣接口 KF16 真空測(cè)量 電阻規(guī) 極限真空 1.0E-1Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 抽氣接口 KF16
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